Beschleunigungssensor
Sensor, der die Beschleunigungen feststellt, wobei die Beschleunigungsmessung in eine Kraftmessung überführt wird (bei bekannter Masse a = F/m) oder alternativ über eine zeitabhängige Wegmessung (a =1/2*s/t_ ). Die Beschleunigungssensoren mit einseitig eingespannter Messfeder und seismischer Masse am freien Ende, sind auch für statische Messungen geeignet. Die Eigenfrequenz solcher Beschleunigungssensoren können bis 10 kHz betragen, wobei der Arbeitsfrequenzbereich durch eine Dämpfung mit Silikonöl erweitert wird. Die maximalen Messbereiche liegen bei 104 m/s. Induktive Beschleunigungssensoren können z.B. so aufgebaut sein, dass sich zwischen Gehäuse und seismischer Masse Queranker-Differentialsensoren befinden. Man kann auch den Piezo-Effekt ausnutzen. Die seismische Masse übt infolge der Beschleunigung eine Kraft auf die Piezoelemente aus, wodurch an deren Oberfläche elektrische Ladungen entstehen. Daraus werden dann der Beschleunigung proportionale Mess-Spannungen gewonnen. Diese Beschleunigungssensoren sind allerdings für statische Messungen nur bedingt geeignet.